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Wafer-Rundtisch

 

 

 

Wafer-Spindel

 

 

 

Hydraulik –
Aggregate

 

 

Hydrostatischer Rundtisch zum Wafer – Schleifen

Vorteile und Merkmale eines hydrostatischen Rundtisches zum Wafer-Schleifen

  • Konzipiert für das Wafer-Schleifen mit niedriger oder keiner Viskosität
  • Exzellenter Rund-/Planlauf – extrem gute Rund- und Ebenheit am Werkstück
  • Hervorragende Dämpfung, keine Vibrationen, dadruch Steigerung der Oberflächengüte am Werkstück
  • Verschleißfreiheit für eine unbegrenzte Lebensdauer
  • Keine Reibung im Stillstand, kein Stick-Slip-Effekt
  • Absolutes Winkelmesssystem für Positioniergenauigkeit

    Wafer_Rundtisch_Tabelle

    Hydrostatische Spindel zum Wafer – Schleifen

    Vorteile und besondere Merkmale von
    hydrostatischen Spindeln für Wafer – Bearbeitung

    • Deutlich höhere Steifigkeit und Dämpfung als bei luftgelagerten Spindeln
    • Höhere Schnittkraft und höhere Schnittleistung als bei luftgelagerten Spindeln
    • Deutlich schnellere Bearbeitung, insbesondere bei SiC-Wafern

      Wafer_Spindel_Tabelle

      Hydraulik-Aggregat zum Wafer – Schleifen

      Hydraulikeinheit für Wasser
      (aktuell in Test-Phase)

      • Inhalt folgt

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